|  로그인 회원등록 내글 장바구니 주문조회 현재접속자
 
 도서 검색








 게시판 검색





HOME 회사소개 사업영역 도서안내 장바구니 커뮤니티 고객센터
 


  
현재위치 :  도서코너 > 학술/전문/실용
 CMP 웨이퍼 연마[수리야데바라 바부(Suryadevara Babu)] 
판매가격 38,000
시중가격 0
할인금액 0 원
적립포인트 3,800 P
재고수량 0 개
배송료 0 원
저자 수리야데바라 바부(Suryadevara Babu)
ISBN 979-11-5610-947-1 (93560)
발행일 2021년 4월 12일
판형정보 188*257(사륙배판)
페이지 628쪽
역자 장인배
구매수량
 EA
 
3차원 웨이퍼 본딩에 필요한 핵심, 웨이퍼 연마공정을 다루다

웨이퍼 연마(CMP)는 기계적 가공기술과 화학적 가공기술이 결합된 다전공적 성격이 강한 핵심 공정장비로서, 반도체 산업의 초창기부터 중요하게 다루어져 왔지만, 최근 들어 3차원 반도체나 웨이퍼레벨 패키징 등과 같이 박형 웨이퍼 적층에 대한 수요가 폭증하면서 관심도가 높아진 분야이다.

화학-기계적 평탄화 가공(CMP)은 뛰어난 반복도와 수용 가능한 수율로 전공정과 후공정을 실현할 수 있도록 만들어주었다.
이 책에서는 전공정과 후공정에서 사용되는 화학-기계적 평탄화 가공(CMP)의 빠르게 발전하는 과학기술과 관련된 다양한 주제들을 다루고 있다. 단순히 형상이 없는 블랭킷 박막과 같은 소재를 제거하는 경우에는 CMP의 P가 연마(Polishing)를 의미한다. 반면에 평탄화 가공(Planarization)이란 패턴의 크기와 밀도가 크게 변하는 표면에 대해서 웨이퍼레벨과 다이레벨에서의 표면 평탄화를 구현하기 위해서 사용되는 CMP의 궁극적인 역할을 명확하게 나타내기 위해서 사용된다. 화학-기계적 평탄화 가공(CMP)은 본질적으로 화학과 기계적 성질을 가지고 있기 때문에 일견 서로 다른 공정인 것처럼 보이는 두 가지 공정들이 서로 상승작용을 일으키므로, CMP의 C와 M을 나타내는 화학과 기계는 공정의 핵심을 이룬다. 화학-기계적 평탄화 가공을 통해서만, 디바이스의 패턴을 생성하기 위해서 사용되는 노광기술의 초점심도 한계를 극복하기 위해서 필수적인 나노스케일의 표면윤곽 균일성을 구현할 수 있다.

이 책의 원저에 삽입된 도표와 본문에서는 다양한 비표준 단위계들이 혼용되어 사용되었으나, 번역과정에서 모두 SI 단위계로 수정하였다. 이 책의 원저에서 광범위하게 사용된 약어들은 가독성을 높이기 위해서 한글로 표기하고 해당 약어는 괄호 속에 표기하였다. 아울러 모든 약어들은 책의 앞부분에 표로 정리해놓았다.
저자
수리야데바라 바부(Suryadevara Babu)

미국 뉴욕주 포츠담 클랙슨 대학교

역자
장인배

서울대학교 기계설계학과 학사, 석사, 박사
현 강원대학교 메카트로닉스공학전공 교수
저서 및 역서
『표준기계설계학』 (동명사, 2010)
『전기전자회로실험』 (동명사, 2011)
『고성능 메카트로닉스의 설계』 (동명사, 2015)
『포토마스크 기술』 (씨아이알, 2016)
『정확한 구속_기구학적 원리를 이용한 기계설계』 (씨아이알, 2016)
『광학기구 설계』 (씨아이알, 2017)
『유연 메커니즘_플랙셔 힌지의 설계』 (씨아이알, 2018)
『3차원 반도체』 (씨아이알, 2018)
『유기발광다이오드 디스플레이와 조명』 (씨아이알, 2018)
『웨이퍼레벨 패키징』 (씨아이알, 2019)
『정밀공학』 (씨아이알, 2019)
『웨이퍼 세정기술』 (씨아이알, 2020)
CHAPTER 1 유전체에 대한 화학-기계적 평탄화 가공의 물리학적 메커니즘

CHAPTER 2 22[nm] 후공정과 그 이후를 준비하는 구리소재에 대한 화학-기계적 평탄화 가공


CHAPTER 3 금속박막에 대한 화학-기계적 평탄화 가공을 위한 전기화학적 기법과 적용사례


CHAPTER 4 초저유전체에 대한 화학-기계적 평탄화 가공


CHAPTER 5 고이동도 채널소재에 대한 화학-기계적 평탄화 가공


CHAPTER 6 화학-기계적 평탄화 가공에 대한 다중스케일 모델링


CHAPTER 7 탄화규소 박막의 연마가공


CHAPTER 8 질화갈륨에 대한 화학-기계적 평탄화 가공의 물리화학적 메커니즘


CHAPTER 9 연마제를 사용하지 않거나 극소량만을 사용하는 화학-기계적 연마가공


CHAPTER 10 평탄화 공정의 환경적 측면


CHAPTER 11 화학-기계적 평탄화 가공용 슬러리의 특성과 제조방법


CHAPTER 12 화학-기계적 평탄화 가공의 품질을 평가하기 위한 화학계측방법


CHAPTER 13 다이아몬드 디스크를 사용한 패드 컨디셔닝


CHAPTER 14 산화물에 대한 화학-기계적 연마가공 중 FTIR 분광법을 사용한 표면분석


CHAPTER 15 새로운 화학-기계적 평탄화 가공용 슬러리 공급 시스템


CHAPTER 16 화학-기계적 연마가공의 제거율 균일성과 캐리어인자의 역할


CHAPTER 17 결함분석, 결함완화 및 저감


CHAPTER 18 무어의 법칙을 초월하는 디바이스에 대한 화학-기계적 평탄화 가공의 적용


CHAPTER 19 상변화 소재에 대한 화학-기계적 평탄화 가공
이 책은 화학-기계적 평탄화(CMP) 가공 분야의 현업에 종사하는 엔지니어들이 화학과 기계적인 관점뿐만 아니라 소재나 전기적인 관점에서 연마가공의 메커니즘을 이해할 수 있는 소중한 기회를 제공해준다.
현업에서 발생하는 다양한 문제들을 현상적인 측면에서만 다루지 않고 그 배후에 존재하는 물리적-화학적인 메커니즘을 이해하고, 체계적으로 해결방안을 찾아내는 과정에서 이 책이 소중한 자료로 활용될 수 있을 것이다.

 

    주문 변경안내

  • 상품을 주문을 완료하신 후에는 주문변경이 불가능합니다.
    카드결제 하신 경우엔 발송전에 결제취소 하시고 다시 주문하셔야 합니다.
    무통장입금 전에는 주문서 취소하시고 다시 주문하신후 결제하시면 정상적으로 발송됩니다.
    단 상품이 발송된 이후엔 취소가 안됩니다.
    고객센터로 전화주시면 최대한 빨리 처리해 드리겠습니다.

    주문도서의 파손 및 오배송 안내

  • 받으신 도서가 파손되었거나 다른 서적이 배송되었을시엔 고객센터(02-2275-8603(내선401번))로 연락주시면 바로 교환 및 환불 또는 적립금으로 처리 하겠습니다.

    주문내역 및 배송확인 안내

  • 주문한 상품은 상단의 주문/배송조회에서 조회 가능합니다.

  
  • 구매하신 서적은 카드, 무통장입금으로 결제 가능합니다. 10만원이상 무통장입금의 경우 에스크로제도를 이용하실수 있으시며 현금영수증 발행도 가능합니다. <온라인(무통장) 송금>으로 결제하신 상품의 경우, 주문접수일로부터 10일 이내 에 상품금액을 입금하셔야 합니다.
    이 기간내에 입금되지 되지 않은 주문은 자동으로 주문이 취소 됩니다. 또한 타행으로 입금시는 송금 수수료가 청구되며, 이 수수료는 회원님께서 직접 부담하셔야 합니다. 입금확인은 오후 3시에 일괄 확인됩니다.
 
  • 주문취소의 경우 상품이 발송전에 연락주시면 취소가 가능합니다.
    발송후 취소 하시게되면 책이 씨아이알에 도착후 왕복택배비(5,000원) 차감하여 환불해드립니다. 주문하신후 교환은 배송 받으신 날로부터 10일 이내에만 가능합니다.
  • 고객변심으로 인한 반품시 반송료는 고객 부담입니다.
    신용카드 결제 등 현금 결제를 제외한 기타 결제의 경우 환불이 불가능하고 재결제를 해주셔야 하는 상황이 발생할 수 있습니다. 참조 부탁 드립니다.

  

    배송금액안내

  • 씨아이알에서 주문하신 도서는 금액과 지역에 상관없이 무료배송으로 배송됩니다.
  • 주문 당일 오후 3시 이전까지 결제가 완료되면 당일 발송되며 오후 3시 이후 결제시엔 익일 발송됩니다. 배송은 지역에 따라 2~3일 정도 소요됩니다.
  • * 도서산간지역은 3~4일정도 소요됩니다.

    배송조회안내

  • 주문하신 도서의 배송안내는 상단 카테고리 주문/배송안내에서 조회하실수 있습니다.
    회원의 경우 로그인이 필요하며 비회원으로 구매하신 경우 주문번호와 비밀번호를 입력하시면 확인하실수 있습니다. 주문번호는 입력하신 메일주소로 주문과 동시에 발송됩니다.
    확인이 어려울시 고객센터(02-2275-8603(내선401번))로 문의주시면 알려드리겠습니다.
글등록포인트 : 20  
등록된 글이 없습니다.
질문 : 10 답변 : 5
등록된 글이 없습니다.

오늘본 도서 17
전체보기
HOME 쇼핑안내 회사소개 회사위치 서비스이용 약관 개인정보 보호정책 사이트맵
사업자등록번호:201-81-61609 통신판매신고번호:201-81-61609 통신판매번호 : 2011-서울중구-0932
사업장소재지:04626 서울특별시 중구 필동로8길 43 업체명:주식회사 씨아이알 대표이사:김성배
대표전화:02-2275-8603 팩스번호:02-2265-9394 이메일:sky1974@circom.co.kr
개인정보관리자:김성배 개인정보관리기간:회원탈퇴시까지
Copyright ⓒ 2011 도서출판 씨아이알 All Rights Reserved.
    장바구니(0)       보관함(0)       오늘본도서(17)       전체도서목록       장바구니목록       주문조회목록       HOME       TOP